標準の変位センサでは、ガラエポ基板を使用しているため、温度変化による熱膨張があります。
高精度の計測をおこなう場合、この熱膨張が誤差になることがありました。
そこで、極低膨張のガラス基板を使用することにより、熱膨張を少なくしました。
これにより、熱膨張の誤差を考慮せずに高精度な計測をおこなえるようになりました。